鉬導(dǎo)流筒被引進(jìn)單晶爐,是一次重要的改善。使用鉬導(dǎo)流筒后,單晶爐爐體上部氬氣變得順暢,氬氣流動(dòng)加快,氧化硅在單晶爐上的沉積大大減少。因?yàn)殂f導(dǎo)流筒溫度保護(hù),減少了加熱時(shí)間,使結(jié)晶時(shí)間縮短近35%,晶體位錯(cuò)的發(fā)生率也減少。所以鉬導(dǎo)流筒的應(yīng)用降低了能耗,提高了生產(chǎn)效率。
鉬導(dǎo)流筒的形狀是上開口大,下開口呈小喇叭形,上開口因單晶爐生產(chǎn)廠家不同而有多種款式,其規(guī)格有16寸、18寸、22寸等。鉬導(dǎo)流筒的生產(chǎn)加工,一般采用0.8-2.0mm高溫鉬板,按圖紙尺寸整片切割成扇形,加熱卷成喇叭形狀,鉚接或焊接,最后校正。為了節(jié)省成本,也有用鉬片拼接加工生產(chǎn)鉬導(dǎo)流筒,鉚接處比較多,影響使用壽命。成品鉬導(dǎo)流筒,成品表面光潔,上下口徑同心一致,尺寸精確,與石墨導(dǎo)流筒能緊密切合,成品單重3-10公斤。
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